TESCOM 64-3600 系列高靈敏度調(diào)壓器

TESCOM 64-3600 系列高靈敏度調(diào)壓器

64-3600 系列超高純度、高靈敏度減壓型調(diào)壓器提供低壓降、束縛隔膜設計，具備 10 Ra/0.25 微米表面光潔度以及可選的 Hastelloy® 閥內(nèi)件。 進口壓力為 600 或 3500 psig（41.4 bar 或 241 bar），出口壓力可高達 150 psig (10.3 bar)。

規(guī)格

壓力額定值

大進口壓力：600 或 3500 psig / 41.4 或 241 bar
出口壓力范圍：30、60、100、150 psig / 2.1、4.1、6.9、10.3 bar

閥體材料

經(jīng)電解拋光的 316L 不銹鋼或 316L VAR 不銹鋼

閥膜

Hastelloy®

閥座

PCTFE、Teflon PFA® 或 Vespel®

閥桿和閥彈簧

316 不銹鋼

其他部件

316L 不銹鋼或 Hastelloy®

工作溫度

Teflon® PFA 閥座：-40 至 160°F / -40 至 71°C
Vespel® 閥座：-40 至 350°F / -40 至 177°C
PCTFE 閥座：-40 至 140°F / -40 至 60°C

接口尺寸和類型

1/4"、1/2"
外螺紋旋轉、內(nèi)螺紋旋轉、外螺紋固定、HPIC
1/4" 管接頭

流通能力

Cv = 0.15 或 0.06

重量

2 lbs / 0.9 kg

功能

• 內(nèi)部表面光潔度為 10 Ra 微英寸/0.25 微米
• 閥膜與閥體之間采用金屬對金屬密封，提供良好的密封性
• 內(nèi)部經(jīng)全面電解拋光處理
• 旨在減少半導體氣體系統(tǒng)中的壓力波動
• 滿足嚴苛的半導體行業(yè)的使用點和
• 氣瓶應用要求